ψ, Δ精度， 90° 入射角:

δ(ψ)=0.002°, δ(Δ)=0.002°

长时稳定性2):

δ(ψ)=±0.1°, δ(Δ)=±0.1°

膜厚精度1)

0.1 Å for 100 nm SiO2 on Si

折射率精度1)

5×10-4 for 100 nm SiO2 on Si